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生產(chǎn)金剛石超薄切割片之固化樹(shù)脂法 |
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用樹(shù)脂添加法制造金剛石超薄切割片可以讓切割片得到很好的保型性,一般采用熱固性酚醛樹(shù)脂作為結合劑,將金剛石磨粒與樹(shù)脂混合,然后用熱壓法燒結,熱固化后再進(jìn)行研磨加工,這種工序需要好幾個(gè)小時(shí),因此生產(chǎn)成本比較高。 隨著(zhù)生產(chǎn)技術(shù)的進(jìn)步,熱固化樹(shù)脂逐漸被光固化樹(shù)脂所替代。光固化樹(shù)脂主要由基礎聚合物(光交聯(lián)性聚合物)、活性稀釋劑(光聚合性單體)、光引發(fā)劑以及添加劑組成。它和熱固化樹(shù)脂最本質(zhì)的區別在于其固化的過(guò)程是靠吸收相應波長(cháng)的光輻射而引起的化學(xué)反應,使光固化樹(shù)脂從液體轉變?yōu)楣腆w。它從液體轉變?yōu)楣腆w是分子量增加的結果,而不是溶劑揮發(fā)所造成的,故具有快速固化、無(wú)污染、節省能源的優(yōu)點(diǎn),但制約因素是其原材料價(jià)格較高。 運用光固化樹(shù)脂法制造超薄金剛石切割片方面,我國利用光固化樹(shù)脂作為結合劑研制成功厚度為0.15mm的超薄型金剛石切割砂輪,并成功地完成了對單晶硅片的切割試驗。 | |
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